1) Tăng cường Sau khi rửa đưa Rack vào bên trong do đó, lần đầu tiên ra đầu tiên trong khi
tải là LOT thức.
2) trong kính tất cả các băng hơi nghiêng nhà nước (Glass Chống rung)
được đặt trên rack.
3) miễn trừ đầu vào khi Rack băng cassette không có.
4) Kệ gây ra gần với tải băng tải cơ sở cốt thép.
đang được dịch, vui lòng đợi..